Stetig steigende Anforderungen an Form- und Maßhaltigkeit gefertigter Produkte sowie deren schnelle und kostengünstige Erfassung erhöhen die Anforderungen an die einzusetzenden Mess­mit­tel. Die zurzeit eingesetzten optischen und taktilen Messmethoden erfüllen die Anforderungen an die Messgenauigkeit, sind allerdings wenig flexibel in der Einsetzbarkeit, vergleichsweise kostenintensiv und weisen geringe Mess­ge­schwin­dig­kei­ten auf. Um die obigen Anforderungen zu erfüllen, wurde im Fachgebiet Messtechnik der Universität Kassel ein in seiner geometrischen Abmessung miniaturisierter fasergekoppelter in­ter­fe­ro­me­trischer High-Speed Punktsensor entwickelt und aufgebaut, siehe Abb. 1.

Neben einer Reduzierung der geometrischen Abmessungen und hohen lateralen Scan­ge­schwin­dig­kei­ten (siehe Vergleichsmessungen in Abb. 2) erhöht die Verwendung von zwei Lasern mit verschiedener Wellenlänge den Ein­deu­tig­keits­be­reich benachbarter Höhenwerte durch die resultierende Schwebung. Dadurch können u.a. steile Kanten mit Stufenhöhen bis zu einem Höhenunterschied von 9,5 µm korrekt gemessen werden. Da hauptsächlich Massenprodukte als Komponenten für den optischen Punktsensor zum Einsatz kommen, sind vergleichsweise geringe Kosten zu erwarten.