Zur Charakterisierung der im Fachgebiet re­ali­sier­ten interferometrischen Sensoren müssen Mess­er­geb­nis­se, die an kritischen Bauteilen und Messnormalen gewonnen werden, untersucht und mit Ergebnissen anderer Messverfahren verglichen werden. Speziell zu diesem Zweck wurde das Großgerät „Multisensor Mess- und Re­fe­renz­sys­tem“ aufgebaut. Das Multisensor Mess- und Re­fe­renz­sys­tem umfasst eine aktives Schwin­gungs­dämp­fungs­sys­tem der Fa. Accurion sowie eine Grundplatte aus Granit mit den Ausmaßen (1000 x 800 x 100) mm³ für eine möglichst effektive Unterdrückung von Störschwingungen. Zwei auf die Granitplatte aufgebrachte Portale aus Granit ermöglichen die robuste Anordnung von fünf vertikal ausgerichteten Sensoren zur To­po­gra­fie­er­fas­sung, wie in der Abbildung 1 gezeigt. Zwei übereinander an­ge­ord­ne­te luftgelagerte Li­ne­ar­ach­sen mit orthogonaler Ausrichtung ermöglichen eine laterale Po­si­tio­nie­rung und bei Bedarf das Scannen des Messobjekts in Bezug auf die jeweiligen Einzelsensoren.