Die optische Charakterisierung von Mikro- und Nanopartikeln unterliegt oft hohen Qua­li­täts­an­sprü­chen. Um die Herstellung von derartigen Strukturen zu kontrollieren, bedarf es hochpräziser Messtechniken. In diesem Projekt geht es um die optische Messung solcher Strukturen mit einem Linnik-Interferometer. Der wesentliche For­schungs­as­pekt dieses Projektes ist es, eine Messstrategie zu entwickeln, um kleinste Abweichungen von den zu untersuchenden Strukturen schnell und zuverlässig zu erkennen. Dazu wird im Re­fe­renz­arm des Interferometers kein planer Re­fe­renz­spie­gel positioniert, sondern ein Re­fe­renz­ob­jekt von bekannter Geometrie und Beschaffenheit. Wird ein Tiefenscan mit dem Objekt im Messarm durchgeführt, wird nicht die Topographie des Objektes gemessen, sondern die Differenz von der im Referenzarm positionierten Sollgeometrie. Dieses Projekt ist eine Zu­sam­men­ar­beit mit dem Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik (INA) der Uni Kassel, in welchem die Mess­struk­tu­ren hergestellt werden.